PROEXTEND

Les procédés industriels par plasma exigent une forte production d’espèces réactives et une uniformité sur des surfaces de plus en plus grandes, et sont réalisés aujourd’hui par domaines distincts de pression. L’objectif de ProExtenD est d’associer en une seule technologie les bénéfices procurés par chaque domaine de pression afin d’assurer la croissance du diamant sur grande surface.

La technologie proposée repose sur un concept de distribution des coupleurs d’onde qui a fait ses preuves dans une gamme de pressions inférieure au torr. Le changement essentiel est apporté au niveau des coupleurs individuels (géométrie, fréquence) pour assurer une expansion spatiale du plasma aussi pour des pressions au-delà du torr.

• Gamme élargie de pression, puissance et composition du gaz
• Synthèse du diamant de différentes propriétés structurales sur un même équipement
• Contrôle des propriétés du matériau et reproductibilité du procédé
• Conception modulaire des coupleurs et de la chambre

Les tests d’extension spatiale du plasma produit par un coupleur unitaire et de synthèse du diamant ont conduit à la maturation d’un coupleur optimisé en termes de performances énergétiques (transmission, couplage, dépôt de puissance) et à la réalisation d’un prototype pour la croissance du diamant sur plaquette de 4’’. Le transfert du procédé sur des surfaces supérieures peut être obtenu par simple multiplication du nombre des coupleurs d’onde.

• Revêtements à propriétés renforcées.
• Fabrication de diamant micro et nanocristallin pour fenêtres optiques, détecteurs de rayonnement, électronique de puissance.
• Génération d’espèces réactives (fluor, oxygène) pour des procédés dans le domaine de la microélectronique.