MAGNETFAB

Les systèmes micro-électro-mécaniques (MEMS) sont de minuscules dispositifs électroniques qui combinent des composants électriques et mécaniques, que l'on trouve dans des objets de tous les jours, comme les smartphones, les voitures et les équipements médicaux. Ils offrent des avantages tels que la miniaturisation et la réduction des coûts. L'utilisation de puissants aimants en terres rares pourrait permettre de construire des MEMS plus performants et plus robustes, mais les techniques de fabrication actuelles ne permettent pas d’avoir des aimants suffisamment petits, possédant les propriétés requises par l’industrie des MEMS.

La solution innovante de Magnetfab s'appuie sur le dépôt de couches minces au moyen d'une pulvérisation à haut débit pour fabriquer des milliers de micro-aimants intégrés sur un seul substrat, de manière équivalente aux circuits intégrés et aux MEMS, et est donc, parfaitement adaptée à la production de masse.

Ces micro-aimants sont fabriqués à partir d'un alliage de terres rares, dont les propriétés magnétiques correspondent aux aimants permanents massifs les plus puissants, comme ceux utilisés dans la plupart des moteurs de voitures électriques. Leurs tailles et leurs propriétés magnétiques sont parfaites pour les MEMS, avec des formes hautement personnalisables contrôlées avec une précision de l’ordre du micron. Les variations de propriétés magnétiques entre les aimants sont inférieures à 1%.

De plus, cette méthode de fabrication est beaucoup plus économe en ressources que les techniques traditionnelles de fabrication d'aimants.

Des micro-aimants d'une épaisseur allant jusqu'à 50 µm peuvent être fabriqués sur des wafers de silicium de 100 mm de diamètre. Le potentiel des micro-aimants dans les applications MEMS a été démontré dans plusieurs preuves de concept, notamment dans un actionneur MEMS, un récupérateur d'énergie MEMS et dans des mouvements de montres mécaniques.

Haut-parleurs miniatures, capteurs de champ magnétique, capteurs tactiles, puces d'ordinateur quantique, et bien d'autres...