MICROMAGFAB
Des aimants puissants pour les micro-applications
Bénéfices
- Complètement intégrés
- Formes et tailles personnalisées
- Fabrication en série
- Réduction de coûts et de matière première
Mots clefs
- Micro aimants permanents de haute performance
- NdFeB
- MEMS magnétiques
Laboratoire
- Institut NEEL
Établissements
- CNRS
- GRENOBLE INP
- UGA
Continuum Linksium
- Maturation
Contexte
MicroMagFab propose une technologie pour intégrer des aimants permanents NdFeB de haute performance dans les microsystèmes.
Technologie
Une pulvérisation rapide est utilisée pour déposer des films épais de NdFeB. Des techniques de salle blanche (lithographie, DRIE, polissage) sont exploitées pour définir la taille et la forme finale des micro-aimants de haute performance.
Avantages
Par rapport aux aimants massifs de NdFeB : nous fabriquons des aimants de tailles beaucoup plus petites (facteur 10 à 100), sans perte de propriétés magnétiques, sans gaspillage de matière, entièrement intégrés dans les microsystèmes.
Par rapport aux aimants permanents électro déposés : les propriétés magnétiques (coercivité et produit énergétique) de nos aimants sont supérieures d’un facteur 10 à 100.
Maturité
Fabrication d'aimants de 50 μm d'épaisseur maîtrisée. Un premier prototype fonctionnel MEMS a été développé.
Applications
μ- actionneurs, μ- générateurs (récupérateurs d'énergie), μ-moteurs, μ-capteurs
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