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MICROMAGFAB

Maturation

Des aimants puissants pour les micro-applications

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Contact Linksium Stephan Pedeche +33 (0)6 73 17 55 36 stephan.pedeche@linksium.fr
190016 Micromagfab

Bénéfices

  • Complètement intégrés
  • Formes et tailles personnalisées
  • Fabrication en série
  • Réduction de coûts et de matière première

Mots clefs

  • Micro aimants permanents de haute performance
  • NdFeB
  • MEMS magnétiques

Laboratoire

  • Institut NEEL

Établissements

  • CNRS
  • GRENOBLE INP
  • UGA

Continuum Linksium

  • Maturation

Contexte

MicroMagFab propose une technologie pour intégrer des aimants permanents NdFeB de haute performance dans les microsystèmes.

Technologie

Une pulvérisation rapide est utilisée pour déposer des films épais de NdFeB. Des techniques de salle blanche (lithographie, DRIE, polissage) sont exploitées pour définir la taille et la forme finale des micro-aimants de haute performance.

Avantages

Par rapport aux aimants massifs de NdFeB : nous fabriquons des aimants de tailles beaucoup plus petites (facteur 10 à 100), sans perte de propriétés magnétiques, sans gaspillage de matière, entièrement intégrés dans les microsystèmes.

Par rapport aux aimants permanents électro déposés : les propriétés magnétiques (coercivité et produit énergétique) de nos aimants sont supérieures d’un facteur 10 à 100.

Maturité

Fabrication d'aimants de 50 μm d'épaisseur maîtrisée. Un premier prototype fonctionnel MEMS a été développé.

Applications

μ- actionneurs, μ- générateurs (récupérateurs d'énergie), μ-moteurs, μ-capteurs